它与大型真空泵相比，主要有如下优点：
体积小巧、噪音低、功耗小、易于操作、便于携带、免维护、可24小时连续运转，还允许介质富含水汽。最重要的是，因为是干式、无油的，不需要真空泵油或润滑油，所以不会污染工作介质，不会干扰对介质的分析等等。而且价格相对便宜得多。
